众所周知,在目前的芯片制造工艺中,光刻机、刻蚀机是必不可少的两个重要工具。 如果从所有的半导体设备的成本来看,光刻设备占其中的20%,而蚀刻设备占其中的23%,两者占其中的43%的比例,足以证明光刻--蚀刻有多重要了
新产品组合凭借创新的刻蚀技术和化学成分在竞争中脱颖而出,以支持先进逻辑和存储器解决方案的开发北京时间2022年2月10日,泛林集团 (NASDAQ: LRCX) 宣布推出一系列新的选择性刻蚀产品,这些产品应用突破性的晶圆制造技术和创新的化学成分,以支持芯片制造商开发环栅 (GAA) 晶体管结构
半导体产品从设计到制造,大致可以分为顶层设计、晶圆制造、封装测试三大步骤。顶层设计完成后,需要晶圆加工厂根据设计图纸对晶圆进行加工,这一过程称为晶圆制造。晶圆制造包含前后两道工艺,前道工艺主要包括:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光和金属化;后道工艺主要是互联、打线、密封等封装工艺
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