杏彩体育:太阳能光伏刻蚀清洗设备

　　(1)开启等离子刻蚀机电源开关、冷却水开关，开氧气(O2)和四氟化碳(CF4)气瓶开关(两小格即可);

　　(3)将扩散完、待加工的硅片整齐地叠在一起，在最上面、最下面的硅片上加同规格的塑料薄片，用四氟片压好，盖上盖板，平衡拧紧螺丝，(控制好力度，要压紧，但也不要太过用力，以免压碎硅片)放入离子刻蚀机反应室，对准盖好上盖板;

　　(4)打开机械泵，开主抽，开始抽真空，抽到最低，同时开启氧气和四氟化碳，并按工艺条件调节氧气和四氟化碳的流量比例;

　　(5)打开射频电源，调节电压到工艺设定条件，真空室开始发出粉红偏白的辉光，再调节C1和C2匹配，使入射功率最大，反射功率最小;

　　(8)打开上盖板，取出已去边的硅片，拿开上下塑料薄片，取上、下及中间(每隔10片左右抽一片)的硅片，用万用表检测硅片四个周边电阻值是否符合工艺规范之要求;

　　(9)工作结束后，把硅片夹放回真空室，开主抽，抽一会儿线秒即可)，关主抽，关机械泵，关射频电源和冷却水，关闭氧气和四氟化碳气瓶开关。

　　M42系列等离子体刻蚀机具有占地面积小、装片容量大、生产率高等优点。同时，还具有手动/自动功能。除装卸片要人工操作外，其余过程实现了全自动，保证了工艺的准确性和重复性，大大地提高了产品质量。该设备主要用于太阳电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。

　　图5.6为等离子体刻蚀机系统示意图。其反应室采用立式结构，射频功率通过电感耦合到反应室内，保证周边刻蚀均匀。真空系统采用主抽和预抽两路抽气，既能保证本底抽空的时间，又能使气氛扰动减小。送气系统通断气均采用电磁阀控制，工艺气体采用质量流量计控制，可靠性高，重复性好。片架可旋转，提高了刻蚀的均匀性。在泵口有一路稀释气体，它可以延长泵的维护周期和使用寿命，在排气出口加有一路N2可使排放尾气达到排放标准。射频电源的功率采用闭环自动控制，并有阻抗匹配器可保证射频输出功率几乎完全耦合到反应室内。电气控制具有手动/自动控制功能，在手动状态下，可以进行真空检漏，不能进行工艺实验。采用PLC进行工艺自动控制，可靠性高，稳定性好。各电气元器件均采用插装式，便于维修和更换。

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　　盛雄激光90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备重磅发布随着市场需求的发展，2020年国家关于“碳达峰”“碳中和”一系列要求提出后，太阳能光伏迎来了历史机遇期，光伏PERC电池大扩产，激光设备需求爆发式的增长。国家十四五规划中提出大力发展光伏、锂电等清洁能源，激光加工技术被广泛应用于已有PERC电池

　　制绒的目的是在硅片表面形成绒面面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平可以增加二次反射，改变光程及入射方式。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）扩散是为电池片制造心脏，是为电池片制造P-N结，POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源，液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性好、制得PN结

　　1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液，要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重，平整度抛光度才能满足要求，药耗量增加，成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处理造成极大地负担，光伏电池制造公司环保压力日益增大，使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱（KOH/NaOH）在

　　刻蚀目的由于在扩散过程中，即使采用背靠背的单面扩散方式，硅片的所有表面（包括边缘）都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，此短路通道等效于降低并联电阻。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）经过刻蚀工序，硅片边缘带有的磷将

　　扩散过后的下一个工序是刻蚀，由于扩散采用背靠背扩散，硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷（边缘导通状态），太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外由于在扩散过程中氧的通入，硅

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